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Microengineering, MEMS, and interfacing :a practical guide /

レコード種別:	コンピュータ・メディア : 単行資料
タイトル / 著者:	Microengineering, MEMS, and interfacing :/ Danny Banks.
その他のタイトル:	a practical guide /
著者:	Banks, Danny.
出版された:	Boca Raton, Fla. :CRC/Taylor & Francis,2006.
記述:	326 p. :ill. ;24 cm.
主題:	Microelectromechanical systems. -
電子資源:	Click here for online access to this book (查閱全文)
国際標準図書番号 (ISBN):	9780824723057
国際標準図書番号 (ISBN):	0824723058 (alk. paper)

Microengineering, MEMS, and interfacing :a practical guide /
Banks, Danny.

Microengineering, MEMS, and interfacing :a practical guide /Danny Banks. - Boca Raton, Fla. :CRC/Taylor & Francis,2006. - 326 p. :ill. ;24 cm. - Mechanical engineering ;199.

Includes bibliographical references and index.

ISBN: 9780824723057

LCCN: 2006042635Subjects--Topical Terms:

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Microelectromechanical systems.

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Microengineering, MEMS, and interfacing :a practical guide /
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