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Micro electro mechanical system design /

紀錄類型:	書目-電子資源 : 單行本
正題名/作者:	Micro electro mechanical system design // James J. Allen.
著者:	Allen, James J.
出版された:	Boca Raton :Taylor & Francis,2005.
記述:	465 p. :ill. ;23 cm.
主題:	Microelectromechanical systems - Design and construction. -
電子資源:	Click here for online access to this book (查閱全文)
国際標準図書番号 (ISBN):	9780824758240
国際標準図書番号 (ISBN):	0824758242 (alk. paper)

Micro electro mechanical system design /
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530 $a Also available as an electronic resource. $b CRC Press (http://www.crcpress.com)
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945 $a BRFL - 001 and 003 fields altered to contain TFG custom control number - 2010/03/12

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