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干涉式橢圓儀應用於晶圓表面二氧化矽薄膜厚度量測技術之研究
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邱日強
干涉式橢圓儀應用於晶圓表面二氧化矽薄膜厚度量測技術之研究
Record Type:
Language materials, printed : monographic
Author:
邱日強,
Secondary Intellectual Responsibility:
鄧恢綱,
Place of Publication:
[南投縣]
Published:
南開科技大學電機與資訊工程研究所;
Year of Publication:
民98[2009]
Description:
47面 : 圖,表 ; 31公分+1張光碟
Online resource:
https://hdl.handle.net/11296/97y63r
Online resource:
https://hdl.handle.net/11296/pp9427
Notes:
參考書目: 面47
Notes:
指導教授:鄧恢綱
Summary:
本論文是利用線偏振光入射至介質表面(SiO2/Si),造成反射光的偏振型態改變的特性所發展出的測量技術橢圓偏振儀。並藉由反射光通過五種不同角度下的光學元件(四分之一波片),最後再由電荷耦合元件(CCD)擷取出五組不同的影像,帶入所推導理論並計算出相對應二維橢圓參數Δ與Ψ,最終得到檢測片(SiO2)薄膜的厚度。
干涉式橢圓儀應用於晶圓表面二氧化矽薄膜厚度量測技術之研究
邱, 日強
干涉式橢圓儀應用於晶圓表面二氧化矽薄膜厚度量測技術之研究
/ 邱日強 - [南投縣] : 南開科技大學電機與資訊工程研究所, 民98[2009]. - 47面 ; 圖,表 ; 31公分.
參考書目: 面47指導教授:鄧恢綱.
鄧, 恢綱
干涉式橢圓儀應用於晶圓表面二氧化矽薄膜厚度量測技術之研究
LDR
:01360nam0 2200265 450
001
121295
005
20230712151502.0
009
00140189
010
0
$b
精裝
100
$a
20091022y2009 m y0chiy08 e
101
0
$a
chi
102
$a
tw
105
$a
ak am 000yy
200
1
$a
干涉式橢圓儀應用於晶圓表面二氧化矽薄膜厚度量測技術之研究
$f
邱日強
210
$a
[南投縣]
$c
南開科技大學電機與資訊工程研究所
$d
民98[2009]
215
0
$a
47面
$c
圖,表
$d
31公分
$e
1張光碟
300
$a
參考書目: 面47
300
$a
指導教授:鄧恢綱
328
$a
碩士論文--南開科技大學電機與資訊工程研究所
330
$a
本論文是利用線偏振光入射至介質表面(SiO2/Si),造成反射光的偏振型態改變的特性所發展出的測量技術橢圓偏振儀。並藉由反射光通過五種不同角度下的光學元件(四分之一波片),最後再由電荷耦合元件(CCD)擷取出五組不同的影像,帶入所推導理論並計算出相對應二維橢圓參數Δ與Ψ,最終得到檢測片(SiO2)薄膜的厚度。
510
1
$a
A study of interferometric ellipsometer for measuring the thickness of SiO2 thin film on Si substrate.
$z
eng
681
$a
000
$b
7761
700
1
$a
邱
$b
日強
$3
132827
702
1
$a
鄧
$b
恢綱
$3
70228
801
0
$a
tw
$b
南開
$c
20091022
$g
CCR
$m
4
801
1
$a
tw
$b
南開
$c
20091022
$g
CCR
$m
4
856
$u
https://hdl.handle.net/11296/97y63r
856
$u
https://hdl.handle.net/11296/pp9427
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六樓師生著作區 (6th Floor-Students & Faculty's Works)
七樓閉架書庫(7th Floor-Closed Stacks)
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六樓師生著作區 (6th Floor-Students & Faculty's Works)
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本校學位論文
T 000 7761 98
一般(Normal)
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0
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T00086
七樓閉架書庫(7th Floor-Closed Stacks)
不外借
本校學位論文
T 000 7761 98 c.2
一般(Normal)
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0
T00087
七樓閉架書庫(7th Floor-Closed Stacks)
不外借
本校學位論文
T 000 7761 98 c.3
一般(Normal)
在架
0
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