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使用差壓計與隔膜閥檢測密閉腔體找尋最佳測漏實驗數據之研究

柴昌維

使用差壓計與隔膜閥檢測密閉腔體找尋最佳測漏實驗數據之研究

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:	陳宏貴,
其他作者:	柴昌維,
出版地:	[南投縣]
出版者:	南開科技大學電子工程研究所;
出版年:	民103[2014]
面頁冊數:	70葉 : 圖,表 ; 31公分+1張光碟
標題:	洩漏率
標題:	leakage rate
電子資源:	http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/91933411122854682144
附註:	指導教授: 柴昌維
附註:	參考書目: 葉55
摘要註:	本論文研究主要目地是針對密閉腔體的洩漏率，如何在生產過程中作快速檢測，主要利用差壓計與隔膜閥建立新的測漏技術，使用於生產過程。密閉腔體的洩漏率測試是一項很重要的工段，它牽扯到工廠生產的良率，建立一個簡單且確實的偵測系統，利用隔膜閥與差壓計去偵測壓力的改變，從實驗數據中能發現此偵測系統比氦氣測漏儀更快速偵測出密閉腔體的洩漏率且比氦氣測漏儀更平價，未來我們希望能夠更換不同的治具，讓此系統能夠偵測不同密閉腔體需求。本研究中所使用測量工件內容積長150mm ×寬150mm ×高5mm，未來希望能增加量測體積，更換不同的治具，讓此系統能夠偵測不同密閉腔體需求。

使用差壓計與隔膜閥檢測密閉腔體找尋最佳測漏實驗數據之研究
陳, 宏貴

使用差壓計與隔膜閥檢測密閉腔體找尋最佳測漏實驗數據之研究 / 陳宏貴 - [南投縣] : 南開科技大學電子工程研究所, 民103[2014]. - 70葉 ; 圖,表 ; 31公分.
指導教授: 柴昌維參考書目: 葉55.
洩漏率leakage rate

柴, 昌維

使用差壓計與隔膜閥檢測密閉腔體找尋最佳測漏實驗數據之研究
LDR:02688pam0 2200277 450 001 131228
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010 0 $b 精裝
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200 1 $a 使用差壓計與隔膜閥檢測密閉腔體找尋最佳測漏實驗數據之研究 $f 陳宏貴
210 $a [南投縣] $c 南開科技大學電子工程研究所 $d 民103[2014]
215 0 $a 70葉 $c 圖,表 $d 31公分 $e 1張光碟
300 $a 指導教授: 柴昌維
300 $a 參考書目: 葉55
328 $a 碩士論文--南開科技大學電子工程研究所
330 $a 本論文研究主要目地是針對密閉腔體的洩漏率，如何在生產過程中作快速檢測，主要利用差壓計與隔膜閥建立新的測漏技術，使用於生產過程。密閉腔體的洩漏率測試是一項很重要的工段，它牽扯到工廠生產的良率，建立一個簡單且確實的偵測系統，利用隔膜閥與差壓計去偵測壓力的改變，從實驗數據中能發現此偵測系統比氦氣測漏儀更快速偵測出密閉腔體的洩漏率且比氦氣測漏儀更平價，未來我們希望能夠更換不同的治具，讓此系統能夠偵測不同密閉腔體需求。本研究中所使用測量工件內容積長150mm ×寬150mm ×高5mm，未來希望能增加量測體積，更換不同的治具，讓此系統能夠偵測不同密閉腔體需求。 $u The thesis mainly investigates the rapid approach of leakage rate detection on sealed chambers in mass production processes as a new technique by using differential pressure gauge with diaphragm valves. The process of leakage detection of sealed chambers is one of important procedure in whole mass production processes because it seriously involves the yield rate. The result indicates that the differences of pressure in sealed chamber is much easier and faster to be detected by the system with differential pressure gauge and diaphragm valves than helium leak detector. The feature size of tested samples so far are 150mm (Length) × 150mm (width) × 5mm (thickness). In the future, in order to meet all specification and criteria, the system of this apparatus will continuously improve tested jigs for bigger targets (sealed chambers) applications.
510 1 $a Study of optimum leakage data on sealed chambers by using differential pressur gauge with diaphragm valves. $z eng
610 0 $a 洩漏率 $a 密閉腔體 $a 氦氣測漏儀
610 1 $a leakage rate $a sealed chamber $a helium leak detector
681 $a 000 $b 7535:3
700 1 $a 陳 $b 宏貴 $3 146588
702 1 $a 柴 $b 昌維 $3 74238
801 0 $a tw $b 國圖 $c 20130805 $g CCR
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