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以微影製程開發新型光學微透鏡陣列模仁之研究 = Development of new optical microlens array mold insert formation using lithography process

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Development of new optical microlens array mold insert formation using lithography process
作者:	林哲平,
其他作者:	趙振綱,
出版地:	台北市
出版者:	國立台灣科技大學機械工程系;
出版年:	2004[民93]
面頁冊數:	132面 : 圖 ; 30公分
附註:	指導教授: 趙振綱
附註:	參考書目: 面151-156
摘要註:	本論文採用微影製程研製新型微透鏡陣列之模仁成型，以創新開發微透鏡陣列之製程，並增加其填充率，藉此提昇微透鏡陣列之整體光學效率。其中，以UV近接式曝光方法，經實驗結果顯示，可控制光罩與光阻之間距於240μm與840μm之間，不需經過熱熔步驟，顯影後自動產生微透鏡陣列，而改善其製程方法。另外，使用熱熔方法，發展數學模式來設計與製作四邊形或六邊形微透鏡陣列，使兩相鄰微透鏡周圍無間隙產生，可大大地提升微透鏡陣列之填充率至100﹪。透過所發展之數學模式運算結果與實驗過程中，光阻柱所量之厚度比較；四邊形微透鏡陣列有±8﹪之誤差，而六邊形微透鏡方面有±3﹪之誤差。由此驗證出理論模式之可行性，可作為設計與製作微透鏡陣列預估製程參數之依據。以此方法再延伸至應用於光纖通訊組件之微球透鏡陣列之製程模擬，同時亦驗證其所發展之理論模式與實驗之結果有8﹪之誤差。

以微影製程開發新型光學微透鏡陣列模仁之研究 = Development of new optical microlens array mold insert formation using lithography process
LDR:01825nam0 2200217 450 001 70444
009 00080258
010 0 $b 平裝
100 $a 20041108y2004 m y0chiy08 e
101 0 $a chi
102 $a tw
105 $a a am 000yy
200 1 $a 以微影製程開發新型光學微透鏡陣列模仁之研究 $d Development of new optical microlens array mold insert formation using lithography process $z eng $f 林哲平撰
210 $a 台北市 $c 國立台灣科技大學機械工程系 $d 2004[民93]
215 0 $a 132面 $c 圖 $d 30公分
300 $a 指導教授: 趙振綱
300 $a 參考書目: 面151-156
328 $a 博士論文 -- 國立台灣科技大學機械工程系
330 $a 本論文採用微影製程研製新型微透鏡陣列之模仁成型，以創新開發微透鏡陣列之製程，並增加其填充率，藉此提昇微透鏡陣列之整體光學效率。其中，以UV近接式曝光方法，經實驗結果顯示，可控制光罩與光阻之間距於240μm與840μm之間，不需經過熱熔步驟，顯影後自動產生微透鏡陣列，而改善其製程方法。另外，使用熱熔方法，發展數學模式來設計與製作四邊形或六邊形微透鏡陣列，使兩相鄰微透鏡周圍無間隙產生，可大大地提升微透鏡陣列之填充率至100﹪。透過所發展之數學模式運算結果與實驗過程中，光阻柱所量之厚度比較；四邊形微透鏡陣列有±8﹪之誤差，而六邊形微透鏡方面有±3﹪之誤差。由此驗證出理論模式之可行性，可作為設計與製作微透鏡陣列預估製程參數之依據。以此方法再延伸至應用於光纖通訊組件之微球透鏡陣列之製程模擬，同時亦驗證其所發展之理論模式與實驗之結果有8﹪之誤差。
681 $a 000 $b 4451
700 1 $a 林 $b 哲平 $3 77318
702 1 $a 趙 $b 振綱 $3 77319
801 0 $a tw $b 南開 $c 20041108 $g CCR $m 4
801 1 $a tw $b 南開 $c 20041108 $g CCR $m 4