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IC製造前段設備關鍵零組件專題研究 : 真空邦浦、質流控制器(MFC)

~

游啟聰

IC製造前段設備關鍵零組件專題研究 : 真空邦浦、質流控制器(MFC)

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
副題名:	真空邦浦、質流控制器(MFC)
作者:	游啟聰,
其他作者:	陳立育,
出版地:	新竹縣
出版者:	工研院機械所;
出版年:	民86
版本:	初版
面頁冊數:	366面 : 圖，表 ; 30公分
集叢名:	經濟部產業技術資訊服務推廣計畫S401
標題:	機械工程 -
標題:	積體電路 -

IC製造前段設備關鍵零組件專題研究 : 真空邦浦、質流控制器(MFC)
游, 啟聰

IC製造前段設備關鍵零組件專題研究 : 真空邦浦、質流控制器(MFC) / 游啟聰計畫主持 ; 陳立育等撰寫 - 初版. - 新竹縣 : 工研院機械所, 民86. - 366面 ; 圖，表 ; 30公分. - (經濟部產業技術資訊服務推廣計畫 ; S401).
機械工程積體電路

陳, 立育

IC製造前段設備關鍵零組件專題研究 : 真空邦浦、質流控制器(MFC)
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010 0 $b 平裝 $d 新臺幣1500元
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205 $a 初版
210 $a 新竹縣 $c 工研院機械所 $d 民86
215 0 $a 366面 $c 圖，表 $d 30公分
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館藏地: 出版年: 卷號:

館藏

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館藏流通類別

079533

三樓書庫

一般借閱

圖書

446 3831 86

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