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Mechanical microsensors /

レコード種別:	言語・文字資料 (印刷物) : 単行資料
タイトル / 著者:	Mechanical microsensors // M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink.
著者:	Elwenspoek, M.
その他の著者:	Wiegerink, Remco J.,
出版された:	Berlin ;Springer,c2001.
記述:	x, 295 p. :ill. ;25 cm.
シリーズ:	Microtechnology and MEMS
主題:	Detectors - Design and construction. -
国際標準図書番号 (ISBN):	3540675825 (hbk. : alk. paper) :

Mechanical microsensors /
Elwenspoek, M.1948-

Mechanical microsensors /M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink. - Berlin ;Springer,c2001. - x, 295 p. :ill. ;25 cm. - Microtechnology and MEMS.

Includes bibliographical references and index.

ISBN: 3540675825 (hbk. : alk. paper) :NT3561

LCCN: 00057363 Subjects--Topical Terms:

169926
Detectors
--Design and construction.

LC Class. No.: TK7875 / .E49 2001

Dewey Class. No.: 681/.2

Mechanical microsensors /
LDR:00609cam _2200205 a_450 001 140624
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504 $a Includes bibliographical references and index.
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650 0 $a Microelectromechanical systems $x Design and construction. $3 158277
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650 0 $a Micromachining. $3 169927
700 1 $a Wiegerink, Remco J., $d 1964- $3 169925

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所在地: 出版年: 巻次:

所藏資料

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E07429

六樓西文書庫 (6th Floor-Western Books)

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外文書

* 681.2 E52 2001

一般(Normal)

在架

0

5030000-0950005

1 レコード • ページ 1 •
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