| 紀錄類型: |
書目-語言資料,印刷品
: 單行本
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| 正題名/作者: |
MEMS :/ edited by Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski. |
| 其他題名: |
fundamental technology and applications / |
| 其他作者: |
Iniewski, Krzysztof. |
| 出版者: |
Boca Raton :CRC Press, Taylor & Francis Group,c2013. |
| 面頁冊數: |
xxii, 456 p. :ill. ;27 cm. |
| 標題: |
Microelectromechanical systems. - |
| ISBN: |
9781466515819 (hardback) : |
| ISBN: |
1466515813 (hardback) |