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多晶硅微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究

~

丁建寧

多晶硅微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究

紀錄類型:	書目-電子資源 : 單行本
作者:	丁建寧
出版地:	北京
出版者:	高等教育出版社;
出版年:	2004
集叢名:	全國優秀博士學位論文
標題:	微電機 - 機械製造材料 -
電子資源:	中華數字書苑--點擊此處查看電子書全文
附註:	需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
摘要註:	本書在系統總結國內外有關微機電系統的最新研究進展基礎上，論述了微型機械設計學的研究範疇，系統地闡述了微機械構件材料力學行為和微機械粘附問題。
ISBN:	7040159902

多晶硅微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究
丁建寧

多晶硅微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究 [電子資源] / 丁建寧著 - 北京 : 高等教育出版社, 2004. - (全國優秀博士學位論文).
需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書.
ISBN 7040159902
微電機 -- 機械製造材料

多晶硅微機械構件材料力學行為及微機械粘附問題研究
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OE0006929

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