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微機電系統設計與製造

紀錄類型:	書目-電子資源 : 單行本
作者:	莫錦秋
合作者:	梁慶華
合作者:	汪石剛
出版地:	北京
出版者:	化學工業出版社;
出版年:	2004
集叢名:	光機電一體化叢書
標題:	微機電 -
電子資源:	中華數字書苑--點擊此處查看電子書全文
附註:	需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書
摘要註:	微機電系統(MEMS,即 Micro Electro Mechanical System)是一門新興的交叉科學,與微電子學、信息學、材料科學和納米技術的發展等密切相關、被公認為21世紀的重點發展學科,受到極大重視,是國家重點發展的高技術產業,發展前景看好。
ISBN:	7502552375

微機電系統設計與製造
莫錦秋

微機電系統設計與製造 [電子資源] / 莫錦秋, 梁慶華, 汪石剛編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2004. - (光機電一體化叢書).
需要下載並安裝APABI Reader軟件閱讀電子圖書.
ISBN 7502552375
微機電

梁慶華

微機電系統設計與製造
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OE0010191

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