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微細加工技術

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劉明

微細加工技術

紀錄類型:	書目-電子資源 : 單行本
作者:	劉明
出版地:	北京
出版者:	化學工業出版社;
出版年:	2004
集叢名:	現代加工技術叢書
主題:	特種加工 -
電子資源:	中華數字書苑--點擊此處查看電子書全文
概要:	本書較為詳細地介紹了光學曝光技術、光學分辨率增強技術、電子束光刻技術、極端遠紫外光刻技術等。
国際標準図書番号 (ISBN):	7502560777

微細加工技術
劉明

微細加工技術 [電子資源] / 劉明 ... [等]編著 - 北京 : 化學工業出版社, 2004. - (現代加工技術叢書).
ISBN 7502560777
特種加工

微細加工技術
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