• ULSI製程技術
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : 單行本
    作者: 劉博文,
    出版地: 臺北縣中和市
    出版者: 新文京開發;
    出版年: 2006[民95]
    版本: 第三版
    面頁冊數: [9],592面 : 圖,表格 ; 24公分
    標題: 半導體 -
    附註: 英文題名: ULSI processing technology
    附註: 含參考書目及索引
    附註: 附錄:矽、鍺與GaAs在300K時之特性等6種
    ISBN: 986-150-267-X
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