• 不同圖案化藍寶石基板幾何外型對發光二極體發光效率之影響
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : 單行本
    作者: 李易書,
    其他作者: 陳俊良,
    其他作者: 柯鴻禧,
    出版地: [南投縣]
    出版者: 南開科技大學電子工程研究所;
    出版年: 民103[2014]
    面頁冊數: 66葉 : 圖,表 ; 31公分+1張光碟
    標題: 發光二極體
    標題: light-emitting diodes
    電子資源: https://hdl.handle.net/11296/7s7hv7
    附註: 指導教授: 陳俊良
    附註: 共同指導教授: 柯鴻禧
    附註: 參考書目: 葉64-65
    摘要註: 本研究以有機金屬化學氣相沉積法(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD),在不同規格圖案化藍寶石基板(PSS)上堆積成長,形成一藍光二極體(Light Emitting Diode;LED)之磊晶片。研究過程中,探討不同程式參數以三甲基鎵(TMGa)為主軸,使用量比例分別為87.5%、90%與92.5%,對 MOCVD藍光磊晶製程的發光強度與光電特性之影響。量測儀器使用光激發螢光譜儀(Photoluminescence, PL)分析磊晶波長、厚度、表面粗糙度,而電激發光譜儀(Electroluminescence, EL)量測發光強度與順向電壓,光繞射儀X-ray量測波長之半寬高,掃描電子顯微鏡觀察圖案化藍寶石基板其內部結構和磊晶堆積影像。
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