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Materials for microlithography : rad...

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Frec, het, J. M. J.

Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
副題名:	radiation-sensitive polymers
作者:	ThompsonL. F.,
其他作者:	Wilson, C. G.,
其他作者:	Frechet, J. M. J.,
出版地:	Washington, D.C.
出版者:	American Chemical Society;
出版年:	c1984.
面頁冊數:	494p. : ills. ; 23cm.
集叢名:	ACS symposium series
標題:	聚合與聚合體 -
標題:	微電子學 -
ISBN:	0-8412-0871-9

Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers
Thompson, L. F.

Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers / L. F. Thompson,C. G. Wilson edited ; J. M. J. Frechet - Washington, D.C. : American Chemical Society, c1984.. - 494p. ; ills. ; 23cm.. - (ACS symposium series).
ISBN 0-8412-0871-9
聚合與聚合體微電子學

Wils, on, C. G.

Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers
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館藏地: 出版年: 卷號:

館藏

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典藏地名稱

館藏流通類別

037132

六樓西文書庫 (6th Floor-Western Books)

一般借閱

外文書

* 621.38173 T478 1984

一般(Normal)

在架

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