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半導體廠週邊設備專題研究． 質流控制器、閥類
~
楊文螢
半導體廠週邊設備專題研究． 質流控制器、閥類
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
作者:
楊文螢,
出版地:
新竹縣
出版者:
工研院機械所;
出版年:
民87
版本:
初版
面頁冊數:
1冊 : 圖，表 ; 30公分
集叢名:
經濟部產業技術資訊服務推廣計畫S102
標題:
機械工程 -
標題:
閥 -
ISBN:
957-97284-6-1
半導體廠週邊設備專題研究． 質流控制器、閥類
楊, 文螢
半導體廠週邊設備專題研究． 質流控制器、閥類
/ 楊文螢撰寫 - 初版. - 新竹縣 : 工研院機械所, 民87. - 1冊 ; 圖，表 ; 30公分. - (經濟部產業技術資訊服務推廣計畫 ; S102).
ISBN 957-97284-6-1
機械工程閥
半導體廠週邊設備專題研究． 質流控制器、閥類
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館藏地:
全部
三樓書庫(3rd Floor-Chinese Books)
出版年:
卷號:
館藏
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