• 微機電系統技術入門 : 以半導體技術製作微小機械與運用
  • 紀錄類型: 書目-語言資料,印刷品 : 單行本
    譯自: マイクロ‧ナノマシン技術入門
    副題名: 以半導體技術製作微小機械與運用
    作者: 藤田博之,
    其他作者: 溫榮弘,
    出版地: 臺北市
    出版者: 全華;
    出版年: 2004[民93]
    版本: 初版
    面頁冊數: [245]面 : 圖,表格 ; 23公分
    標題: 電機工程 -
    標題: 奈米技術 -
    附註: 英文題名: Micro eletro mechanical system
    附註: 含參考書目及索引
    ISBN: 957-21-4631-9
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